半导体工厂二次配系统简介

【前言】

   半导体工厂二次配管工程（设备管线Hook-up工程），通常包括：CDA、工艺冷却水、纯水、氮气、氩气、氩氧混合气（85%氩气，15%氧气）、一般排气、热排气、酸类排气、碱类排气、有机排气、化学品管路、回收水（回收后作为制造纯水的水源）、金属废水、有机废水、酸碱废水、可回收废水、生产真空、清扫真空等管路系统。

   半导体工厂二次配管工程施工流程如下：

   半导体工厂二次配电工程，一般包括：一般市电(NORMAL)配电系统、不间断电源(UPS)配电系统。说明，一般对于生产机台来说，E电(应急电)只当N电(一般市电)使用。机台二次配电电压类型：因各国的电压标准不同，导致机台二次配电压有所不同。

化学品管路：

   化学品管路的工程范围通常为：由已安装完成的阀箱中阀的出口端，将管路和讯号线安装至使用机台的入口端。

   以下图中的化学管路为例：

   管路材质  ：PFA管 / 40A C-PVC管。

   配管方式  ：双层管。

   弯管方式  ：直接弯管(不用Elbow)。

【小结】

1、洁净厂房的二次配工程，需要掌握三个方面的要领：技术要领、施工要领、品控要领。

2、技术要领：对工艺及工艺设备的理解，对重要工序的指导，对作业空间的规划。

3、施工要领：行之有效的施工制度：符合要求的施工计划：快速反应的施工体系。

4、品控要领：建立品控意识、严格品控过程、保证品控结果。