干货：半导体厂务专业名词中英文对照表

发布日期:2021-07-24　浏览次数：17077

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半导体厂务专业名词中英文对照表

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厂务缩略词中英文对照表
NO.	科别	英文简写	英文全称	中文全称
NO.	科别	英文简写	英文全称	中文全称
1	ME	CH&HW	Chilled Water&Hot water system	冰热水系统
2		CHW	Chilled Water	中温冰水系统
3		CH-XX	Chiller-XX	中温冰机
4		HCH-XX	Heat recollection chiller-XX	热回收冰机
5		CWP-XX	Condensor water pump-xx	中温冷却水泵
6		CHP1-XX	1st chilled pump	中温冷冻水一次泵
7		CHP2-XX	2nd chilled pump	中温冷冻水二次泵
8		CH-ET	chilled expansion tank	膨胀水箱
9		LCHW	Low Chilling Water	低温冰水系统
10		LCH-XX	Low Chiller-XX	低温冰机
11		LCWP-XX	Low Condensor water pump-xx	低温冷却水泵
12		LCHP1-XX	1st Low chilled pump	低温冷冻水一次泵
13		LCHP2-XX	2nd Low chilled pump	低温冷冻水二次泵
14		WW	warm water	温水系统
15		WWP	warm water pump	温水泵
16		HW	Hot water	热水系统
17		SH	shell&tube heat exchanger	壳管式热交换器
18		HWP	Hot water pump	热水泵
19		CRP	condensate water pump	蒸汽冷凝水泵
20		ST-CT	steam condensate tank	蒸汽冷凝水箱
21		CR	Clean Room	洁净室
22		MAU	Make-up new air Unit	新风空调
23		VFD	Variable-Frequency Drive	变频器
24		FFU	Fan filter unit	风机过滤机组
25		ULPA	Ultra Low Penetration Air Filter	超高效空气过滤器
26		DCC	Dry Colling Control	干冷盘管
27		EXH	Exhaust system	排气系统
28		GEX	General Exhaust	一般排气
29		SEX	Sex Exhaust	酸性排气
30		AEX	Ammonia Exhaust	碱性排气
31		VEX	Solvent Exhaust	有机排气
32		SCR	Scrubber	洗涤塔
33		PCW	Process Cooling Water	工艺制程冷却水
34		PCWP	Process Cooling Water Pump	工艺制程冷却水泵
35		PHE	plate heat exchanger	板式热交换器
36		Filter	Filter	过滤器
37		UPS	Uninterruptible Power System	不间断电源系统
38		DySC	Dynamic Sag Corrector	电压暂降补偿器
39		ET	Expansion Tank	膨胀水箱
40		PV	Process Vacuum	工艺真空
41		PVP	Plant Vacuum Pump	制程真空泵
42		PV TANK	Plant Vacuum Tank	制程真空罐
43		HV	House Vacuum	清扫清扫
44		GHVAC	General Heating Ventilating and Air Conditioning	一般空调系统
45		OAHU	Outside Air Heating Unit	新风空调系统
46		PAHU （RCU)	Recycled airhanding Unit	循环风空调系统
47		FCU	Fan Control Unit	风机盘管
48		EF	Exhaust Fan System	排风机系统
49	EE	CCTV	Closed-Circuit Television	闭路电视监控系统
50		NVR	network video recorder	网络硬盘录像机
51		POE	Power Over Ethernet	以太网供电
52		TV BOX	television box	电视盒子
53		CMS	control management systerm	中央控制系统
54		SSR	solid-state relay	固态继电器
55		GEN	Generator	柴油发电机
56		CTTS	Closed Transition Transfer Switch	闭路过渡式转换开关
57		ATS	Automatic transfer switch	自动转换开关
58		UPS	Uninterruptible Power System	不间断电源系统
59		SCADA	Supervisory Control And Data Acquisition	数据采集与监视控制系统
60		RTU	Remote Terminal Unit	远程终端单元
61		GPS	Global Positioning System	全球定位系统
62		MTR	Main Transformer	主变
63		HV	High Voltage	高压
64		LV	Low Voltage	低压
65		AC	alternate current	交流电
66		DC	direct current	直流电
67		REC	receptacle	插座
68		DYSC	Dynamic Sag Corrector	电压暂降补偿器
69		ELEV	Elevator	电梯
70	Water	UPW	Ultra Pure Water	超纯水
71		UF	Ultrafilter	超过滤
72		Polish	Polish	抛光床
73		MDG	Membrane Degasifier	膜脱气
74		MB	Mixed Bed	混床
75		MDG	Membrane Degasifier	膜脱气
76		UV	Ultraviolate Desinfector	紫外线杀菌机
77		TOC-UV	TOC Ultravoilate Desinfector	紫外线除TOC杀菌机
78		RO	Reverse Osmosis	反渗透
79		MMF	Multi Media Filter	多介质过滤器
80		AC	Active Carbon	活性炭过滤器
81		WC	Weak Cation	弱阳树脂塔
82		2B	Cation and Anion	阳床，阴床
83		DG	Degasifier	脱气塔
84		PAC	Poly Alumina Chlorine	聚合氯化铝
85		DO	Dissoved Oxygen	溶解氧
86		TOC	Total Organic Carbon	总有机碳
87		Silica	Silica	可溶解硅
88		TUB	Turbidity	浊度
89		SDI	Silt Density Index	污染密度指数
90		WWT	Waste Water Treatment System	废水处理系统
91		NS	Neutralization system	中和废水处理系统
92		SS	Suspendid Solid matter	悬浮物质
93		COD	Chemical Oxygen Demand	化学需氧量
94		BOD	Biological Oxygen Demand	生物需氧量
95		HF	HF treatment system	含氟废水处理系统
96		CMP	Chemical Mechanical Polisher	化学机械研磨
97		AMT	Ammonia Treatment	含氨废水处理系统
98		PDS	Process drain system	制程排水系统
99		DWWA	Acid/Caustic waste water drain piping	一般酸碱排放管路
100		DCHF	concentrate hydrofluoric acid	浓氢氟酸排放管路
101		DDHF	dilute hydrofluoric acid	稀氢氟酸排放管路
102		DB/GW	backside grounding water	晶背研磨排放管路
103		DFRW-Cu	first rinse water in Copper line	铜制程初道冲洗水排放管路
104		DLRW	last rinse water	后道冲洗水排放管路
105		DCMP-clean	Chemical mechanical polish clean water	化学机械抛光废水排放管路
106		DF-FAB	floor drain in FAB	地板排水排放管路
107		DIPA	IPA	异丙醇排放管路
108		Dsolvent-1	solvent-1	有机溶剂-1 排放管路
109		DWWA-Photo	Acid/Caustic waste water drain piping in Photo area	Photo区一般酸碱排放管路
110		DH2SO4-Cu	Cu line Sulphuric acid drain	铜制程初硫酸废液排放管路
111		DH2 SO4	Sulphric acid drain	硫酸废液排放管路
112		DH3PO4	Phosphoric acid drain	磷酸废液排放管路
113		PLB	Plumbling	管道设备
114		DW	Domestic Water	生活用水
115		PW	Process water	生产用水
116		DWW	Domestic Warm Water	生活温水
117		MW	Middle Water	中水
118		RWRS	Rain Water Reuse System	雨水回收系统
119		IWWS	Industrial Waste Water System	工业污废水排水系统
120		EEW	Emergency Eye Washer	紧急冲身洗眼器
121	GC	GMS	Gas Monitoring System	气体监控系统
122		CDA	Clean Dry Air	洁净的干燥的空气
123		XCDA	Extra Clean Dry Air	高纯的洁净的干燥的空气
124		HPCDA	High Pressure Clean Dry Air	高压的洁净的干燥空气
125		IA	Instrument Air	仪表空气
126		PN2	Process Nitrogen	制程氮气
127		GN2	General Nitrogen	一般氮气
128		PH2	Process Hydrogen	制程氢气
129		PO2	Process Oxygen	制程氧气
130		PAr	Process Argon	制程氩气
131		PHe	Process Helium	制程氦气
132		CQC	Continuous Quality Control	连续质量控制
133		ASU	Air Separation Unit	空气分离厂
134		TCN	Teisen Compressed Nitrogen	制氮机
135		UPO	Utral Purity Oxygen	高纯度氧
136		THC	Total HydroCarbon	碳氢化合物总量
137		LIN	Liquid Nitrogen	液氮
138		LOX	Liguid Oxygen	液氧
139		SGS	Special Gas System	特殊气体系统
140		GC	Gas Cabinet	气柜
141		GR	Gas Rack	气架
142		BSGS	Bulk Specialty Gas System	大宗特殊气体系统
143		ESG	Electronics Specialty Gas	电子特气
144		VDB/P	Valve Distribution Box/Panel	分配阀箱/盘面
145		VMB/P	Valve Manifold Box/Panel	阀箱/盘
146		EFS	Excess Flow Switch	过流切换装置
147		CV	Check Valve	单向阀
148		PT	Pressure Transducer	压力传感器
149		PG	Pressure Gauge	压力表
150		SCBA	Self-contained breathing apparatus	自我控制呼吸装置
151		HPM	hazardous Process Material	高危害的制成材料
152		GDS	Gas Detection System	气体监测系统
153		GIS	Gas Information System	气体信息系统
154		UPS	Uniterruptible Power System	不间断电源系统
155		RIO	Remote In Out Panel	远程输入输出盘
156		PLC	Programmable Logic Controller	可编辑逻辑控制器
157		EMO	emergency machine off	紧急停止
158		SCADA	supervisory Control And Data Acquisition	数据采集与监视控制系统
159		TLV	Threshold limit value	阈限值
160		LDL	Lowest Detection Limit	气体检测下限
161		LEL	Low Explosive Limit	气体爆炸下限
162		UEL	Upper explosion limit
163		CDS	Chemical Dispense System	化学分供系统
164		CDS	Chemical Dispense System	化学分供系统
165		SDS	Slurry Dispense System	研磨液分供系统
166		CCB	Clean Coupling Box	清洁连接设备
167		CDM	Chemical Dispense Module	化学分供设备
168		T-BOX	Tee-Box	T型盒
169		E-BOX	E-Box	E型盒
170		SG	densimeter gauge	密度计
171		VG	Vacuum Gauge	真空表
172		LS	Level Sensor	液位传感器
173		DP Cell	Differential Pressure Cell	压差液位计
174		HEPA	High Efficiency Particulate Air Filter	高效过滤器
175		DCP	Data concentration panel	数据集中盘
176		SOP	Standard Operation Procedure	标准操作程序
177		TGCM	Total Gas and Chemical Management	全面气体及化学品管理
178		MSDS	Material Safety Data Sheet	物质安全数据表
179		NMP	N-Methyl Pyrrolidone	N-甲基-2-砒咯酮
180		IPA	Isopropanol	异丙醇
181		DEV	Developer	显影液
182		PPE	Personal Protection Equipment	个人防护器具
183		FMCS	Factory Monitoring Control System	厂务监控系统
184	Hook up	Power	Power	供电
185		PP	Power Penel	电盘
186		Plug in	Plug in	插接箱
187		Breaker	Breaker	断路器
188		Cable	Cable	电缆
189		Scoket	Scoket	插座
190		UPW	Ultra Pure Water	超纯水
191		PVDF	Polyvinylidene fluoride	聚偏氟乙烯
192		VMB	Valve Manifold Box	阀箱
193		SUS 316	steel use stainless 316	316 不锈钢
194		specialty gas	specialty gases	特种气体
195		Bulk gas	Bulk gases	大宗气体
196		CDA	clean dry air	洁净的干燥的空气
197		PCW	process cooling water	制程冷却水
198		SUS 304	steel use stainless 304	304 不锈钢
199		NPT	national（American） pipe thread	美国标准的60度锥管螺纹
200		PV	Process Vacuum	制成真空
201		UPVC	unplasticzed polyvinyl chloride	硬聚氯乙烯
202		PU	polyurethane	聚氨酯
203		PVC	polyvinyl chloride	聚氯乙烯
204		CW	city water	城市给水
205		GEX	General Exhaust	一般排气
206		SEX	Scrubber Exhaust	酸性工艺排气
207		AEX	Alkaline Exhaust	碱性工艺排气
208		VEX	Volatile organic Carbon Exhaust	有机工艺排气
209		SWG	Swagelok	可检测卡套管接头和转换接头
210		DWWA	Acid/Caustic waste water drain piping	一般酸碱排放管路
211		DCHF	concentrate hydrofluoric acid	浓氢氟酸排放管路
212		DDHF	dilute hydrofluoric acid	稀氢氟酸排放管路
213		DB/GW	backside grounding water	晶背研磨排放管路
214		DFRW-Cu	first rinse water in Copper line	铜制程初道冲洗水排放管路
215		DLRW	last rinse water	后道冲洗水排放管路
216		DCMP-clean	Chemical mechanical polish clean water	化学机械抛光废水排放管路
217		DF-FAB	floor drain in FAB	地板排水排放管路
218		PDS	Process drain system	制程排水系统
219		DH₂SO₄-Cu	Cu line Sulphuric acid drain	铜制程初硫酸废液排放管路
220		DH₂ SO₄	Sulphric acid drain	硫酸废液排放管路
221		DH₃PO₄	Phosphoric acid drain	磷酸废液排放管路
222		CPVC	Chlorinated Polyvinyl Chloride	氯化聚氯乙烯
223		PE	Polyethylene	聚乙烯
224		PP	Polypropylene (Homopolymer)	聚丙烯
225		PTFE	Polytetrafluorethylene	聚四氟乙烯
226		CS	High Carbon Steel	碳钢
227		PFA	Ploytetrafluoro ethylene	可溶性聚四氟乙烯
228	Project	GBS	general building system	厂务一般公用
229		PCS	process critical system	厂务制程系统
230		FPT	facility project team	厂务工程科
231		FP	fire prevent	消防

机械科缩略词中英文对照表
NO.	主系统（一级）	子系统（二级）	设备（三级）	材料、仪器，工具（四级）	英文简写	英文全称	中文全称
NO.	主系统（一级）	子系统（二级）	设备（三级）	材料、仪器，工具（四级）	英文简写	英文全称	中文全称
1	CH&HW				CH&HW	Chilled Water&Hot water system	冰热水系统
2		Chilling Water			CHW	Chilled Water	中温冰水系统
3			CH-XX		CH-XX	Chiller-XX	中温冰机
4			HCH-XX		CH-XX	Heat recollection chiller-XX	热回收冰机
5			CWP-XX		CWP-XX	Condensor water pump-xx	中温冷却水泵
6			CHP1-XX		CHP1-XX	1st chilled pump	中温冷冻水一次泵
7			CHP2-XX		CHP2-XX	2nd chilled pump	中温冷冻水二次泵
8			CH-ET-01		CH-ET	chilled expansion tank	膨胀水箱
9		Low Chilling Water			LCHW	Low Chilling Water	低温冰水系统
10			LCH-XX		LCH-XX	Low Chiller-XX	低温冰机
11			LCWP-XX		LCWP-XX	Low Condensor water pump-xx	低温冷却水泵
12			LCHP1-XX		LCHP1-XX	1st Low chilled pump	低温冷冻水一次泵
13			LCHP2-XX		LCHP2-XX	2nd Low chilled pump	低温冷冻水二次泵
14		warm water			WW	warm water	温水系统
15			PHE-XX		PHE	plate heat exchanger	板式热交换器
16			WWP-XX		WWP	warm water pump	温水泵
17		Hot water			HW	Hot water	热水系统
18			PHE-XX		PHE	plate heat exchanger	板式热交换器
19			SH-XX		SH	shell&tube heat exchanger	壳管式热交换器
20			HWP-XX		HWP	Hot water pump	热水泵
21			CRP-XX		CRP	condensate water pump	蒸汽冷凝水泵
22			ST-CT		ST-CT	steam condensate tank	蒸汽冷凝水箱
23
24	CR				CR	Clean Room	洁净室
25		MAU			MAU	Make-up new air Unit	新风空调
26			VFD		VFD	Variable-Frequency Drive	变频器
27
28
29		FFU			FFU	Fan filter unit	风机过滤机组
30			ULPA		ULPA	Ultra Low Penetration Air Filter	超高效空气过滤器
31		DCC			DCC	Dry Colling Control	干冷盘管
32	EXH				EXH	Exhaust system	排气系统
33		GEX			GEX	General Exhaust	一般排气
34		SEX			SEX	Sex Exhaust	酸性排气
35		AEX			AEX	Ammonia Exhaust	碱性排气
36		VEX			VEX	Solvent Exhaust	有机排气
37			SCR		SCR	Scrubber	洗涤塔
38	PCW				PCW	Process Cooling Water	工艺制程冷却水
39			PCW-X		PCWP	Process Cooling Water Pump	工艺制程冷却水泵
40			PHE-XX		PHE	plate heat exchanger	板式热交换器
41			Filter-XX		Filter	Filter	过滤器
42			UPS		UPS	Uninterrupted Power Supply	不间断电源供应
43			DySC		DySC	Dynamic Sag Corrector	动态电压跌落恢复装置
44			ET-X		ET	Expansion Tank	膨胀水箱
45			VFD		VFD	Variable-Frequency Drive	变频器
46	PV				PV	Process Vacuum	工艺真空
47			PVP-XX		PVP	Plant Vacuum Pump	制程真空泵
48			VFD		VFD	Variable-Frequency Drive	变频器
49			UPS		UPS	Uninterrupted Power Supply	不间断电源供应
50			PV TANK		PV TANK	Plant Vacuum Tank	制程真空罐
51	HV				HV	House Vacuum	清扫清扫
52	GHVAC				GHVAC	General Heating Ventilating and Air Conditioning	一般空调系统
53		OAHU			OAHU	Outside Air Heating Unit	新风空调系统
54		PAHU （RCU)			PAHU （RCU)	Recycled airhanding Unit	循环风空调系统
55		FCU			FCU	Fan Control Unit	风机盘管
56		EF			EF	Exhaust Fan System	排风机系统

电科缩略词中英文对照表
NO.	主系统（一级）	英文简写	英文全称	中文全称
NO.	主系统（一级）	英文简写	英文全称	中文全称
1	CCTV	CCTV	Closed-Circuit Television	闭路电视监控系统
2		NVR	network video recorder	网络硬盘录像机
3		POE	Power Over Ethernet	以太网供电
4		TV BOX	television box	电视盒子
5		CMS	control management systerm	中央控制系统
6		SSR	solid-state relay	固态继电器
7	Generator	GEN	Generator	柴油发电机
8		CTTS	Closed Transition Transfer Switch	闭路过渡式转换开关
9		ATS	Automatic transfer switch	自动转换开关
10	UPS	UPS	Uninterruptible Power System	不间断电源系统
11	SCADA	SCADA	Supervisory Control And Data Acquisition	数据采集与监视控制系统
12		RTU	Remote Terminal Unit	远程终端单元
13		GPS	Global Positioning System	全球定位系统
14		MTR	Main Transformer	主变
15		HV	High Voltage	高压
16		LV	Low Voltage	低压
17		AC	alternate current	交流电
18		DC	direct current	直流电
19		REC	receptacle	插座
20	Dysc	DYSC	Dynamic Sag Corrector	电压暂降补偿器
21	ELEV	ELEV	Elevator	电梯

水科缩略词中英文对照表
NO.	主系统（一级）	子系统（二级）	设备（三级）	材料、仪器，工具（四级）	英文简写	英文全称	中文全称
NO.	主系统（一级）	子系统（二级）	设备（三级）	材料、仪器，工具（四级）	英文简写	英文全称	中文全称
1	UPW				UPW	Ultra Pure Water	超纯水
2		Polisher system			-	Polisher system	纯水精制系统
3			UF		UF	Ultrafilter	超过滤
4			Polish		-	Polish	抛光床
5			MDG		MDG	Membrane Degasifier	膜脱气
6		Make Up system			-	Make Up system	制程系统
7			MB		MB	Mixed Bed	混床
8			MDG		MDG	Membrane Degasifier	膜脱气
9			UV		UV	Ultraviolate Desinfector	紫外线杀菌机
10			TOC-UV		TOC-UV	TOC Ultravoilate Desinfector	紫外线除TOC杀菌机
11			RO		RO	Reverse Osmosis	反渗透
12		Pre-treatment system			-	Pre treatment system	前处理系统
13			MMF		MMF	Multi Media Filter	多介质过滤器
14			AC		AC	Active Carbon	活性炭过滤器
15			WC		WC	Weak Cation	弱阳树脂塔
16			2B		2B	Cation and Anion	阳床，阴床
17			DG		DG	Degasifier	脱气塔
18				PAC	PAC	Poly Alumina Chlorine	聚合氯化铝
19				DO	DO	Dissoved Oxygen	溶解氧
20				TOC	TOC	Total Organic Carbon	总有机碳
21				Silica	-	Silica	可溶解硅
22				TUB	TUB	Turbidity	浊度
23				SDI	SDI	Silt Density Index	污染密度指数
24	WWT				WWT	Waste Water Treatment System	废水处理系统
25		Neutralization system			NS	Neutralization system	中和废水处理系统
26			DWWA Buffer tank		-	DWWA Buffer tank	一般酸碱废水中继槽
27			NS Treatment tank		-	NS Treatment tank	中和反应槽
28			Final check tank		-	Final check tank	中和总排口
29			NS/CMP Emergence tank		-	NS/CMP Emergence tank	中和应急槽
30		HF treatment system			HF	HF treatment system	含氟废水处理系统
31			HF buffer tank		-	HF buffer tank	含氟废水缓冲池
32			HF Treatment tank		-	HF Treatment tank	含氟废水反应池
33			HF Sedimentation tank		-	HF Sedimentation tank	含氟废水沉淀池
34			HF Clarifier Tank		-	HF Clarifier Tank	含氟废水澄清池
35			HF/CMP Sludge Thickener		-	HF/CMP Sludge Thickener	含氟/研磨废水浓缩池
36			HF/CMP Filter Press Package		-	HF/CMP Filter Press Package	含氟/研磨废水污泥压滤机
37			HF Emergence tank		-	HF Emergence tank	含氟废水应急槽
38		CMP treatment system			CMP		研磨废水处理系统
39			CMP buffer tank		-	CMP buffer tank	含CMP废水缓冲池
40			CMP Treatment tank		-	CMP Treatment tank	含CMP废水反应池
41			CMP Sedimentation tank		-	CMP Sedimentation tank	含CMP废水沉淀池
42			CMP Clarifier Tank		-	CMP Clarifier Tank	含CMP废水澄清池
43		Cu treatment system			Cu	Cu treatment system	含Cu废水处理系统
44			Cu buffer tank		-	Cu buffer tank	含Cu废水缓冲池
45			Cu Treatment tank		-	Cu Treatment tank	含Cu废水反应池
46			Cu Sedimentation tank		-	Cu Sedimentation tank	含Cu废水沉淀池
47			Cu Clarifier Tank		-	Cu Clarifier Tank	含Cu废水澄清池
48			Cu Sludge Thickener		-	Cu Sludge Thickener	含Cu废水浓缩池
49		AMT treatment system			AMT	AMT treatment system	含氨废水处理系统
50			AMT buffer tank		-	AMT buffer tank	含氨废水缓冲池
51			AMT Stripper tower		-	AMT Stripper tower	含氨废水吹拓塔
52			AMT Scrubber tower		-	AMT Scrubber tower	含氨废水吸收塔
53		Dsimatel treatment System			-	Dsimatel treatment System	生活废水处理系统
54		DH2SO4 Remove H2O2 System			-	DH2SO4 Remove H2O2 System	废硫酸除双氧水系统
55			Storage and transport system		-	Storage and transport system	存储及传输系统
56			Treatment system		-	Treatment system	反应处理系统
57			Dosing system		-	Dosing system	加药系统
58			Exhaust system		-	Exhaust system	排气系统
59		Chemical storage and distribution system			-	Chemical storage and distribution system	化学品储存及分配系统
60			H2SO4 system		-	H2SO4 system	硫酸加药系统
61			NaOH system		-	NaOH system	氢氧化钠加药系统
62			CaCl2 System		-	CaCl2 System	氯化钙加药系统
63			PAC system		-	Poly Alumina Chlorine	聚合氯化铝加药系统
64			PAM system		-	POLYMER system	聚丙烯酰胺加药系统
65			Cu2+ complexing agent system		-	Cu2+ complexing agent system	铜离子络合剂投加系统
66				pH online meter	-	pH online meter	PH在线监测仪表
67				F- online meter	-	F- online meter	F-在线监测仪表
68				Roots blower	-	Roots blower	罗茨风机
69				temperature onlin sensor	-	temperature onlin sensor	温度在线传感器
70				ultrasonic level meter	-	ultrasonic level meter	超声波液位计
71				Ball float liquid level gauge	-	Ball float liquid level gauge	浮球液位计
72				Electromagnetic flowmeter	-	Electromagnetic flowmeter	电磁流量计
73				Compressed air tank	-	Compressed air tank	压缩空气罐
74				Sludge interface meter	-	Sludge interface meter	污泥界面计
75				Copper analyzer	-	Copper analyzer	Cu分析仪
76				NH3-N Online meter	-	NH3-N Online meter	氨氮在线分析仪
77				Totol phosphorus analyzer	-	Totol phosphorus analyzer	总磷分析仪
78				Static pressure gauge	-	Static pressure gauge	静压液位计
79	PDS				PDS	Process drain system	制程排水系统
80		DWWA			DWWA	Acid/Caustic waste water drain piping	一般酸碱排放管路
81		DCHF			DCHF	concentrate hydrofluoric acid	浓氢氟酸排放管路
82		DDHF			DDHF	dilute hydrofluoric acid	稀氢氟酸排放管路
83		DB/GW			DB/GW	backside grounding water	晶背研磨排放管路
84		DFRW-Cu			DFRW-Cu	first rinse water in Copper line	铜制程初道冲洗水排放管路
85		DLRW			DLRW	last rinse water	后道冲洗水排放管路
86		DCMP-clean			DCMP-clean	Chemical mechanical polish clean water	化学机械抛光废水排放管路
87		DF-FAB			DF-FAB	floor drain in FAB	地板排水排放管路
88		DIPA			DIPA	IPA	异丙醇排放管路
89		Dsolvent-1			Dsolvent-1	solvent-1	有机溶剂-1 排放管路
90		DWWA-Photo			DWWA-Photo	Acid/Caustic waste water drain piping in Photo area	Photo区一般酸碱排放管路
91		DH2SO4-Cu			DH2SO4-Cu	Cu line Sulphuric acid drain	铜制程初硫酸废液排放管路
92		DH2 SO4			DH2 SO4	Sulphric acid drain	硫酸废液排放管路
93		DH3PO4			DH3PO4	Phosphoric acid drain	磷酸废液排放管路
94	PLB				PLB	Plumbling	管道设备
95		DW			DW	Domestic Water	生活用水
96		PW			PW	Process water	生产用水
97		DWW			DWW	Domestic Warm Water	生活温水
98		MW			MW	Middle Water	中水
99		RWRS			RWRS	Rain Water Reuse System	雨水回收系统
100		IWWS			IWWS	Industrial Waste Water System	工业污废水排水系统
101		EEW			EEW	Emergency Eye Washer	紧急冲身洗眼器

二次配缩略词中英文对照表
NO.	Hook up系统（一级）	子系统（二级）	设备（三级）	材料、仪器，工具（四级）	英文简写	英文全称	中文全称
NO.	Hook up系统（一级）	子系统（二级）	设备（三级）	材料、仪器，工具（四级）	英文简写	英文全称	中文全称
1	Power				Power	Power	供电
2			Power Penel		PP	Power Penel	电盘
3			Plug in		Plug in	Plug in	插接箱
4			Breaker		Breaker	Breaker	断路器
5			Cable		Cable	Cable	电缆
6			Scoket		Scoket	Scoket	插座
7	UPW				UPW	Ultra Pure Water	超纯水
8				PVDF	PVDF	Polyvinylidene fluoride	聚偏氟乙烯
9	Chemical		VMB		VMB	Valve Manifold Box	阀箱
10				PFA	PFA	Polytetrafluoro ethylene	可熔性聚四氟乙烯
11				CPVC	CPVC	Clear-Polyvinyl chloride	透明聚氯乙烯
12				SUS 316	SUS 316	steel use stainless 316	316 不锈钢
13	Gas
14		specialty gas			specialty gas	specialty gases	特种气体
15		Bulk gas			Bulk gas	Bulk gases	大宗气体
16		CDA			CDA	clean dry air	压缩空气
17						isolation valve	隔离阀
18						Regulators	调压阀
19						Pressure transducers	压力表
20						Pressure Decay Test	保压测试
21						Helium Leak Test	氦气测漏
22						Particle Test	颗粒测试
23						Residual Moisture content Test	水分含量测试
24						Oxygen content Test	氧气含量测试
25						Passivation	钝化
26						Filters	过滤器
27	PCW				PCW	process cooling water	制程冷却水
28				SUS 304	SUS 304	steel use stainless 304	304 不锈钢
29				NPT	NPT	national（American） pipe thread	美国标准的60度锥管螺纹
30	PV				PV	Process Vacuum	制成真空
31
32				SWG	SWG	Swagelok	可检测卡套管接头和转换接头
33				UPVC	UPVC	unplasticzed polyvinyl chloride	硬聚氯乙烯
34				PU	PU	polyurethane	聚氨酯
35				PVC	PVC	polyvinyl chloride	聚氯乙烯
36	CW				CW	city water	城市给水
37				SUS 304	SUS 304	steel use stainless 304	304 不锈钢
38				NPT	NPT	national（American） pipe thread	美国标准的60度锥管螺纹
39	Exhaust				GEX	General Exhaust	普通工艺排气
40					SEX	Scrubber Exhaust	酸性工艺排气
41					AEX	Alkaline Exhaust	碱性工艺排气
42					VEX	Volatile organic Carbon Exhaust	有机工艺排气
43				PTFE	PTFE	Polytetrafluoroethylene	聚四氟乙烯
44				SUS 304	SUS 304	steel use stainless 304	304 不锈钢
45						Galvanize spiral sheet metal	镀锌螺旋风管
46				SWG	SWG	Swagelok	可检测卡套管接头和转换接头
47	Drain
48				DWWA	DWWA	Acid/Caustic waste water drain piping	一般酸碱排放管路
49				DCHF	DCHF	concentrate hydrofluoric acid	浓氢氟酸排放管路
50				DDHF	DDHF	dilute hydrofluoric acid	稀氢氟酸排放管路
51				DB/GW	DB/GW	backside grounding water	晶背研磨排放管路
52				DFRW-Cu	DFRW-Cu	first rinse water in Copper line	铜制程初道冲洗水排放管路
53				DLRW	DLRW	last rinse water	后道冲洗水排放管路
54				DCMP-clean	DCMP-clean	Chemical mechanical polish clean water	化学机械抛光废水排放管路
55				DF-FAB	DF-FAB	floor drain in FAB	地板排水排放管路
56				PDS	PDS	Process drain system	制程排水系统
57				DH₂SO₄-Cu	DH₂SO₄-Cu	Cu line Sulphuric acid drain	铜制程初硫酸废液排放管路
58				DH₂ SO₄	DH₂ SO₄	Sulphric acid drain	硫酸废液排放管路
59				DH₃PO₄	DH₃PO₄	Phosphoric acid drain	磷酸废液排放管路
60				PVC	PVC	Polyvinyl Chloride	聚氯乙烯
61				CPVC	CPVC	Chlorinated Polyvinyl Chloride	氯化聚氯乙烯
62				PE	PE	Polyethylene	聚乙烯
63				PP	PP	Polypropylene (Homopolymer)	聚丙烯
64				PTFE	PTFE	Polytetrafluorethylene	聚四氟乙烯
65				CS	CS	High Carbon Steel	碳钢
66				PFA	PFA	Ploytetrafluoro ethylene	可溶性聚四氟乙烯

气化科缩略词中英文对照表
NO.	主系统（一级）	子系统（二级）	设备（三级）	材料、仪器，工具（四级）	英文简写	英文全称	中文全称
NO.	主系统（一级）	子系统（二级）	设备（三级）	材料、仪器，工具（四级）	英文简写	英文全称	中文全称
1	GMS				GMS	Gas Monitoring System	气体监控系统
2		BGS	CDA		CDA	Clean Dry Air	洁净的干燥的空气
3			XCDA		XCDA	Extra Clean Dry Air	高纯的洁净的干燥的空气
4			HPCDA		HPCDA	High Pressure Clean Dry Air	高压的洁净的干燥空气
5			IA		IA	Instrument Air	仪表空气
6			PN2		PN2	Process Nitrogen	制程氮气
7			GN2		GN2	General Nitrogen	一般氮气
8			PH2		PH2	Process Hydrogen	制程氢气
9			PO2		PO2	Process Oxygen	制程氧气
10			PAr		PAr	Process Argon	制程氩气
11			PHe		PHe	Process Helium	制程氦气
12			PHe		CQC	Continuous Quality Control	连续质量控制
13			ASU		ASU	Air Separation Unit	空气分离厂
14			TCN		TCN	Teisen Compressed Nitrogen	制氮机
15				UPO	UPO	Utral Purity Oxygen	高纯度氧
16				THC	THC	Total HydroCarbon	碳氢化合物总量
17				LIN	LIN	Liquid Nitrogen	液氮
18				LOX	LOX	Liguid Oxygen	液氧
19		SGS			SGS	Special Gas System	特殊气体系统
20			GC		GC	Gas Cabinet	气柜
21			GR		GR	Gas Rack	气架
22			BSGS		BSGS	Bulk Specialty Gas System	大宗特殊气体系统
23			ESG		ESG	Electronics Specialty Gas	电子特气
24			VDB/P		VDB/P	Valve Distribution Box/Panel	分配阀箱/盘面
25			VMB/P		VMB/P	Valve Manifold Box/Panel	阀箱/盘
26				EFS	EFS	Excess Flow Switch	过流切换装置
27				CV	CV	Check Valve	单向阀
28				PT	PT	Pressure Transducer	压力传感器
29				PG	PG	Pressure Gauge	压力表
30				SCBA	SCBA	Self-contained breathing apparatus	自我控制呼吸装置
31				HPM	HPM	hazardous Process Material	高危害的制成材料
32		GDS			GDS	Gas Detection System	气体监测系统
33			GIS		GIS	Gas Information System	气体信息系统
34			UPS		UPS	Uniterruptible Power System	不间断电源
35			RIO		RIO	Remote In Out Panel	远程输入输出盘
36				PLC	PLC	Programmable Logic Controller	可编辑逻辑控制器
37				EMO	EMO	emergency machine off	紧急停止
38			SCADA		SCADA	supervisory Control And Data Acquisition	数据采集与监视控制系统
39				TLV	TLV	Threshold limit value	阈限值
40				LDL	LDL	Lowest Detection Limit	气体检测下限
41				LEL	LEL	Low Explosive Limit	气体爆炸下限
42				UEL	UEL	Upper explosion limit
43	CDS				CDS	Chemical Dispense System	化学分供系统
44		CDS			CDS	Chemical Dispense System	化学分供系统
45		SDS			SDS	Slurry Dispense System	研磨液分供系统
46			CCB		CCB	Clean Coupling Box	清洁连接设备
47			CDM		CDM	Chemical Dispense Module	化学分供设备
48				T-BOX	T-BOX	Tee-Box	T型盒
49				E-BOX	E-BOX	E-Box	E型盒
50				SG	SG	densimeter gauge	密度计
51				VG	VG	Vacuum Gauge	真空表
52				LS	LS	Level Sensor	液位传感器
53					DP Cell	Differential Pressure Cell	压差液位计
54			HEPA		HEPA	High Efficiency Particulate Air Filter	高效过滤器
55			DCP		DCP	Data concentration panel	数据集中盘
56				SOP	SOP	Standard Operation Procedure	标准操作程序
57				TGCM	TGCM	Total Gas and Chemical Management	全面气体及化学品管理
58				MSDS	MSDS	Material Safety Data Sheet	物质安全数据表
59				NMP	NMP	N-Methyl Pyrrolidone	N-甲基-2-砒咯酮
60				IPA	IPA	Isopropanol	异丙醇
61				DEV	DEV	Developer	显影液
62				PPE	PPE	Personal Protection Equipment	个人防护器具
63	FMCS				FMCS	Factory Monitoring Control System	厂务监控系统

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