行业聚焦: 专为精密镜头、显微成像、车载雷达、激光设备及光通讯器件制造打造的高标准受控环境。
全案交付: 森培环境提供从“防微振基座设计、消光暗室搭建”到“超净恒温系统”的一体化解决方案 (Turnkey Project)。
核心价值: 严格遵循 ISO 14644 标准,重点解决微尘吸附、温度漂移与环境震动三大难题,确保镀膜良率与光路校准精度,助力企业突破光学极限。
针对镀膜机(Coating)周边环境,提供 ISO 5-6 级高洁净度保障,并配置高效排热系统,杜绝微尘导致的膜层针孔与麻点。
适配超声波清洗线,强化排风与挥发性气体(VOCs)处理,维持湿度恒定,防止镜片表面水痕与二次污染。
构建正压层流环境,专为镜头锁附与光纤耦合设计,结合离子风棒消除静电吸附,确保成像系统零灰尘残留。
定制高吸光率亚光黑环境(消光处理),配置独立温控与防震平台,满足 MTF 测试、杂散光分析等高精测试需求。
消除杂散光干扰: 针对光学测试区,采用特制亚光黑电泳铝材与吸光墙板,墙面反光率 <5%,确保测试数据真实精准。
阻断微振动传递: 针对高倍显微与光刻设备,构建独立浮筑地坪(Floating Floor),切断车间震动传导,保障纳米级对准精度。
抑制分子级污染 (AMC): 在回风系统中引入化学过滤器,有效吸附空气中的酸性、碱性及有机气体,防止精密镀膜层氧化变质。
精准温漂控制: 采用高灵敏度温控系统,抑制因温度波动导致的镜片热胀冷缩与焦距漂移,稳定光学性能。
温湿度精密锁定: 核心区温度波动控制在 ±0.5°C,湿度 ±3%,确保光学胶水固化与材料折射率的绝对稳定。
视觉环境优化: 根据工序定制照度,组装区高亮无频闪,暗室区实现全黑环境(照度 <0.1 Lux),并配置红光/黄光安全照明。
微污染控制: 采用 ULPA 超高效过滤器(99.9995%),有效拦截 0.1μm 以上微粒,满足高端成像模组的严苛洁净需求。
层流罩 (Clean Booth): 在关键工位上方加装定制层流罩,以低成本实现局部百级(ISO 5)环境,提升核心工序良率。
| 工艺区域 | 洁净度等级 (ISO/国标) |
温度控制 | 相对湿度 | 换气/风速 | 照度/特殊要求 |
|---|---|---|---|---|---|
| 真空镀膜区 | ISO 5级 (百级) | 22 ± 1°C | 45 ± 5% | 断面风速 0.3-0.5m/s |
防静电/排热 |
| 精密组装区 | ISO 6级 (千级) | 22 ± 2°C | 50 ± 5% | 50 - 60 次/h | 高亮/正压 |
| 光学测试/暗室 | ISO 7级 (万级) | 23 ± 1°C | 55 ± 5% | 25 - 30 次/h | 全黑/消光黑墙 |
| 超声清洗区 | ISO 7级 (万级) | 23 ± 2°C | 50 ± 5% | 30 - 40 次/h | 强排风/耐腐蚀 |
光学暗室选用黑色亚光彩钢板或喷涂吸光涂层,地面采用黑色防静电 PVC,最大限度减少光线反射,保证测试环境纯净度。
对精密检测台及光刻机基座进行独立隔断处理,采用减震垫层或空气弹簧技术,有效隔离建筑物主体震动及人员走动干扰。
集成 18MΩ·cm 超纯水 (UPW) 系统用于镜片清洗;配置高纯氮气 (PN2) 及氩气管道,采用 BA/EP 级不锈钢管,保障镀膜工艺纯度。
选用高精度恒温恒湿机组,配合二次回风系统,精准抵消设备发热负荷,防止温差引起的光学元件形变与焦距偏差。
暗室装修的核心是“绝对遮光”与“低反射”。森培环境采用独特的“双重互锁门”设计防止漏光,墙面与顶棚使用定制的亚光黑板材(吸光率高),通风口采用迷宫式遮光百叶,确保内部照度可控制在 0.1 Lux 以下。
镀膜机是高发热源。我们在设计时会进行精确的热负荷计算,通常采用“局部排热罩 + 独立冷源”的方式,直接将设备热量排出室外,减少对洁净室整体空调系统的冲击,既节能又能稳定环境温度。
有的。对于放置显微镜、干涉仪等敏感设备的区域,我们会施工“独立岛式地基”,将设备基座与周围地面切断,并在地下铺设专业减震材料,从物理结构上阻断震动传播。
光学行业对有机污染物(分子级污染)非常敏感。我们在装修选材上严格使用低挥发性(Low-Outgassing)材料,杜绝使用含硅胶的密封剂(硅油挥发会污染镜片),并对管道进行严格的禁油脱脂处理。
用精密工程守护每一束光
无论是手机镜头、还是高端显微仪器,优质的光学产品始于纯净的制造环境。森培环境凭借多年的光学行业工程经验,为您提供从暗室搭建、微振控制到超净环境的一站式解决方案。
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