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电子工业洁净室等级技术参数表

参考标准:ISO 14644-1:2015 / GB 50073-2013

ISO 级别 美标 209E
(习惯称呼)
≥0.5μm 粒子限值
(pc/m³)
≥5.0μm 粒子限值
(pc/m³)
换气次数 / 风速
(经验参考)
建议典型应用
ISO 4 十级 352 - (忽略不计) 300 - 500 次/h 集成电路(IC)前端生产、晶圆加工
ISO 5 百级 3,520 29 层流 0.3-0.5m/s TFT-LCD 阵列、高精密光学零件组装
ISO 6 千级 35,200 293 50 - 70 次/h 硬盘驱动器制造、半导体封装
ISO 7 万级 352,000 2,930 25 - 35 次/h PCB/FPC 印刷、电子模组测试
ISO 8 十万级 3,520,000 29,300 15 - 20 次/h 常规注塑、电子原材料仓储
⚙️ 技术参数说明:
ISO 14644 标准:与医药 GMP 不同,ISO 等级不区分静态/动态,通常在设计时需明确设备热负荷对气流的影响。
大颗粒控制:≥5.0μm 粒子的控制直接影响 FFU 的使用寿命及电子元件的微观物理损伤。
⚠️ 电子厂隐形成本控制:
节能控制:电子厂面积大,换气次数决定了空调机组功率。建议采用 DC-FFU + 智能控制系统 以大幅降低运营成本。
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