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洁净室FFU维护检测注意事项

发布日期:2021-04-26 浏览次数:921

由于空气日益严重,高效过滤单元FFU投入使用的行业越来越多,但FFU的维护检测仍很多企业并不了解,本文主要介绍了FFU维护检测必须注意的事项。


一、日常维护

每天开始工作前,请按照下面各项进行检测,当发现了不正常的行为,应当马上切断电源进行整改。

1.离心扇及马达:离心扇必须旋转平顺,没有产生异常声音,若听到异常声音,请确认送风机内有没有异物和马达轴承的声音是否正常,如果马达有问题,请更换马达。

2.滤网:滤网表面有无破损、污点等。

3.机体外观:机体外观有无损伤。


二、定期维护

FFU高效过滤单元使用一段时间后,因使用的环境和使用状况的差异,为了防止意外,请定期按照下表进行定期检查,当部件寿命损耗完,请马上更换部件。


部件位置

征兆及可能原因

评价标准,确认点

检查频率

部件寿命

马达

(1)轴承损坏而使马达运转不平顺或死锁。

(2)绝缘不良造成过热、过载导致线圈烧损。

(3)电源连接或端子的绝缘不良,而造成异常发热、接地错误、层间短路…..等。

确认马达有无异音、振动及味道,用耳朵确认轴承有无异常声音。

绝缘阻抗须大于5MΩ以上。

检查电缆线及端子有无破损或锈蚀,更换不良部件。

一年一次

5年以上

离心风扇

(1)因灰尘迭积或破损使得运转不平衡而损坏。

检查离心风扇有无异音、振动及破损,更换不良部件。

一年一次

5

其它的电气部件及配线材料

(1)绝缘不良,端子螺丝松脱而造成过热、短路或烧损。

(2)配线表皮破损而造成短路、漏电或损伤。

检查有无过热、锈蚀、暴露的导体,配线表皮破损…..等。

绝缘阻抗须大于5MΩ以上。

锁紧端子螺丝(每三年一次)更换不良部件。

一年一次

5

滤网

(1)因阻塞而造成风速减低。

(2)因化学药品而造成滤网材质、迫紧、阻隙材不良而使灰尘泄漏。

(3)因外部热源造成滤网材质不良。

目视检查滤网材质、迫紧、阻隙有无刮伤、褪色、变形。

检查泄漏更换不良部件。

一年一次

 (视不同使用场所需要而定)

外箱

及其它组件

因化学药品而使部件腐蚀或生锈产生灰尘。

 

目视检查部件有无不良、褪色….等。

一年一次

其它部件8



1  FFU风机过滤器介绍

1-1 FFU风机过滤器单元介绍


风机过滤器单元(FFU)是一种自带动力、具有过滤功效的模块化的末端送风装置。


风机从FFU顶部将空气吸入并经HEPA过滤,过滤后的洁净空气在整个出风面以0.45m/s±20%的风速均匀送出。广泛用于半导体、液晶制造业、电子、生物制药.等行业。


FFU使用环境:


>>周围温度:5℃~40℃


>>湿度:低于85%RH(没有湿气凝结状态下)


>>周围空气:一般室内空气


>>清净度:100-10级


>>请避免连续反复ON/OFF操作机体


如果在未符合上述条件的环境下使用风机滤网机组,将会影响制品性能,并可能会发生电气短路现象,造成电气部件损坏,缩短制品使用寿命。


为能安全且有效地使用风机过滤器单元请参阅下面的〝重要安全事项〞。


FFU风机过滤单元正确安装方法


1-2 FFU结构及特点

(1) FFU主要部件


   (2) 表1. 部件明称及功能(参考图1)



2. FFU重要安全事项


不当使用风机过滤器单元组将会造成制品性能降低,使用时请务必遵守下列事项:


2-1 安装使用环境


>>风机过滤器单元的安装应远离加热器、火炉或其它热源。


>>设置风机过滤器单元场所不可放置易燃物,以免发生火灾。


>>请勿在机体附近使用具爆炸性或挥发性的化学物品,如果机体吸入这些化学物品将有可能会导致火灾或爆炸等事故发生。


>>请勿于机体附近使用含硫酸、盐酸、漂白剂及其它具腐蚀性化学药品,如果使用这些化学药品将有可能会导致机体腐蚀及损坏。


2-2FFU运送与安装


>>请在风机过滤器单元包装完好的状态下搬运制品,搬运时务必保持水平,如果使用轻便推车等工具运送时,请选用车台超过机体包装宽度的推车。


>>机体安装后,机体上方至少须预留30公分以上的空间,以利将来机体修,未预留足够的维修空间,机体将无法进行维修及部件更换。


>>试运转前,请先拆除吸入口上及均流板下附着的保护膜。


2-3FFU安装使用注意事项


>>风机过滤器单元安装于无尘室时,请务必遵守下列指示


>>当进入无尘室时


请穿着防尘衣以免携带灰尘进入室内。


请以酒精清理工具以免携带灰尘进入室内。


请以酒精清理衣柜未保护处以免携带灰尘进入室内。


点检时请使用防尘纸及原子笔作记录以免再产生灰尘。


>>切勿直接重压风机过滤器单元机体,以免造成机体变形。


>>请勿以沾湿的手操作机体,以免发生触电危险。


>>请勿遮蔽机体吸入口及吹出口,机体吸入口及吹出口被遮蔽,将导致机体性能无法正常发挥,造成机体功能异常或电气部件损坏。


>>实施第三种接地工事,以避免电击产生之危险。



3.FFU安装使用


3-1运转前检查事项


运转前请先检查下列注意事项:


>>机体外部电源是否连接,电源供应是否妥当。


>>机体接地工事是否已实施。


>>机体上方空气吸入口及下方滤网的保护膜是否已取下。


3-2运转时注意事项


(1) 开始运转(请参考FFU安装使用维护说明书)


>>当电源开启后,机体即开始运转。


>>机体运转后请确认是否有异常现象。


当有下列情形发生,机体无法正常运转时,请向经销服务人员反映。


>>机体内部有异物,机体离心风扇无法正常旋转。


>>机体内部电线脱落,接头松脱。


>>机体内部电气部件,如过电源插头、马达损坏。


(2) 停止运转


>>运转后如发现异常现象,请即切断电源,停止机体运转。



4.维修点检


>>自购买日起进行定期检查,请勿自行检查,以免造成触电或火灾等事故发生。


>>除了维修人员外,请勿自行拆解、修理或变更规格,以免造成触电或火灾的发生。


>>当更换滤网等部件时,请注意不要损坏滤纸。


>>维修点检时,请务必先切断电源,停止机器运转后再实施,以免发生触电或伤害危险。


>>当安装维修点检完成后,在机体起动前,请确定机体基础稳固。


4-1日常维护


每天工作开始之前请依表2.点检下列各项,当发现有不正常的情形,立即切断电源并采取改正措施。


表2. 日常维护


FFU风机过滤单元日常维护


4-2定期维护


使用风机过滤器单元一段时间后,因使用环境及使用状况之差异,为了防止意外及确保风机过滤器单元的正常运转,请务必实施下列定期点检。


4-2.1定期维护


(1)定期维护项目请依表3.所示,对风机过滤器单元实施定期点检,当部件寿命已至时,请立即进行部件更换。(部件寿命指一般使用状况下之寿命,会因使用环境及使用状况而有所差异)。


(2)当由于不可抗力(如地震、电击…..等)或化学药品的泄漏(腐蚀气体…..等)意外发生,停机再启动后,请务必实施相同的检查。


表3. 定期维护项目


表4消耗性部件的更换期间 ( 我司建议 )


   FFU风机过滤单元消耗性部件的更换期间


注:滤网更换期间会因不同使用场所的差异而有所不同。


4.2.2点检完成


点检完成后,清洁工作场所及确认风机过滤器单元在正常运转状况;保留点检报告,当部件更换或机体更新时作为参考。



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