由于空气日益严重,高效过滤单元FFU投入使用的行业越来越多,但FFU的维护检测仍很多企业并不了解,本文主要介绍了FFU维护检测必须注意的事项。 一、日常维护 每天开始工作前,请按照下面各项进行检测,当发现了不正常的行为,应当马上切断电源进行整改。 1.离心扇及马达:离心扇必须旋转平顺,没有产生异常声音,若听到异常声音,请确认送风机内有没有异物和马达轴承的声音是否正常,如果马达有问题,请更换马达。 2.滤网:滤网表面有无破损、污点等。 3.机体外观:机体外观有无损伤。 二、定期维护 FFU高效过滤单元使用一段时间后,因使用的环境和使用状况的差异,为了防止意外,请定期按照下表进行定期检查,当部件寿命损耗完,请马上更换部件。 |
部件位置 | 征兆及可能原因 | 评价标准,确认点 | 检查频率 | 部件寿命 |
马达 | (1)轴承损坏而使马达运转不平顺或死锁。 (2)绝缘不良造成过热、过载导致线圈烧损。 (3)电源连接或端子的绝缘不良,而造成异常发热、接地错误、层间短路…..等。 | 确认马达有无异音、振动及味道,用耳朵确认轴承有无异常声音。 绝缘阻抗须大于5MΩ以上。 检查电缆线及端子有无破损或锈蚀,更换不良部件。 | 一年一次 | 5年以上 |
离心风扇 | (1)因灰尘迭积或破损使得运转不平衡而损坏。 | 检查离心风扇有无异音、振动及破损,更换不良部件。 | 一年一次 | 5年 |
其它的电气部件及配线材料 | (1)绝缘不良,端子螺丝松脱而造成过热、短路或烧损。 (2)配线表皮破损而造成短路、漏电或损伤。 | 检查有无过热、锈蚀、暴露的导体,配线表皮破损…..等。 绝缘阻抗须大于5MΩ以上。 锁紧端子螺丝(每三年一次)更换不良部件。 | 一年一次 | 5年 |
滤网 | (1)因阻塞而造成风速减低。 (2)因化学药品而造成滤网材质、迫紧、阻隙材不良而使灰尘泄漏。 (3)因外部热源造成滤网材质不良。 | 目视检查滤网材质、迫紧、阻隙有无刮伤、褪色、变形。 检查泄漏更换不良部件。 | 一年一次 | (视不同使用场所需要而定) |
外箱 及其它组件 | 因化学药品而使部件腐蚀或生锈产生灰尘。
| 目视检查部件有无不良、褪色….等。 | 一年一次 | 其它部件8年 |
1 FFU风机过滤器介绍
1-1 FFU风机过滤器单元介绍
风机过滤器单元(FFU)是一种自带动力、具有过滤功效的模块化的末端送风装置。
风机从FFU顶部将空气吸入并经HEPA过滤,过滤后的洁净空气在整个出风面以0.45m/s±20%的风速均匀送出。广泛用于半导体、液晶制造业、电子、生物制药.等行业。
FFU使用环境:
>>周围温度:5℃~40℃
>>湿度:低于85%RH(没有湿气凝结状态下)
>>周围空气:一般室内空气
>>清净度:100-10级
>>请避免连续反复ON/OFF操作机体
如果在未符合上述条件的环境下使用风机滤网机组,将会影响制品性能,并可能会发生电气短路现象,造成电气部件损坏,缩短制品使用寿命。
为能安全且有效地使用风机过滤器单元请参阅下面的〝重要安全事项〞。
FFU风机过滤单元正确安装方法
1-2 FFU结构及特点
(1) FFU主要部件
(2) 表1. 部件明称及功能(参考图1)
2. FFU重要安全事项
不当使用风机过滤器单元组将会造成制品性能降低,使用时请务必遵守下列事项:
2-1 安装使用环境
>>风机过滤器单元的安装应远离加热器、火炉或其它热源。
>>设置风机过滤器单元场所不可放置易燃物,以免发生火灾。
>>请勿在机体附近使用具爆炸性或挥发性的化学物品,如果机体吸入这些化学物品将有可能会导致火灾或爆炸等事故发生。
>>请勿于机体附近使用含硫酸、盐酸、漂白剂及其它具腐蚀性化学药品,如果使用这些化学药品将有可能会导致机体腐蚀及损坏。
2-2FFU运送与安装
>>请在风机过滤器单元包装完好的状态下搬运制品,搬运时务必保持水平,如果使用轻便推车等工具运送时,请选用车台超过机体包装宽度的推车。
>>机体安装后,机体上方至少须预留30公分以上的空间,以利将来机体修,未预留足够的维修空间,机体将无法进行维修及部件更换。
>>试运转前,请先拆除吸入口上及均流板下附着的保护膜。
2-3FFU安装使用注意事项
>>风机过滤器单元安装于无尘室时,请务必遵守下列指示
>>当进入无尘室时
请穿着防尘衣以免携带灰尘进入室内。
请以酒精清理工具以免携带灰尘进入室内。
请以酒精清理衣柜未保护处以免携带灰尘进入室内。
点检时请使用防尘纸及原子笔作记录以免再产生灰尘。
>>切勿直接重压风机过滤器单元机体,以免造成机体变形。
>>请勿以沾湿的手操作机体,以免发生触电危险。
>>请勿遮蔽机体吸入口及吹出口,机体吸入口及吹出口被遮蔽,将导致机体性能无法正常发挥,造成机体功能异常或电气部件损坏。
>>实施第三种接地工事,以避免电击产生之危险。
3.FFU安装使用
3-1运转前检查事项
运转前请先检查下列注意事项:
>>机体外部电源是否连接,电源供应是否妥当。
>>机体接地工事是否已实施。
>>机体上方空气吸入口及下方滤网的保护膜是否已取下。
3-2运转时注意事项
(1) 开始运转(请参考FFU安装使用维护说明书)
>>当电源开启后,机体即开始运转。
>>机体运转后请确认是否有异常现象。
当有下列情形发生,机体无法正常运转时,请向经销服务人员反映。
>>机体内部有异物,机体离心风扇无法正常旋转。
>>机体内部电线脱落,接头松脱。
>>机体内部电气部件,如过电源插头、马达损坏。
(2) 停止运转
>>运转后如发现异常现象,请即切断电源,停止机体运转。
4.维修点检
>>自购买日起进行定期检查,请勿自行检查,以免造成触电或火灾等事故发生。
>>除了维修人员外,请勿自行拆解、修理或变更规格,以免造成触电或火灾的发生。
>>当更换滤网等部件时,请注意不要损坏滤纸。
>>维修点检时,请务必先切断电源,停止机器运转后再实施,以免发生触电或伤害危险。
>>当安装维修点检完成后,在机体起动前,请确定机体基础稳固。
4-1日常维护
每天工作开始之前请依表2.点检下列各项,当发现有不正常的情形,立即切断电源并采取改正措施。
表2. 日常维护
FFU风机过滤单元日常维护
4-2定期维护
使用风机过滤器单元一段时间后,因使用环境及使用状况之差异,为了防止意外及确保风机过滤器单元的正常运转,请务必实施下列定期点检。
4-2.1定期维护
(1)定期维护项目请依表3.所示,对风机过滤器单元实施定期点检,当部件寿命已至时,请立即进行部件更换。(部件寿命指一般使用状况下之寿命,会因使用环境及使用状况而有所差异)。
(2)当由于不可抗力(如地震、电击…..等)或化学药品的泄漏(腐蚀气体…..等)意外发生,停机再启动后,请务必实施相同的检查。
表3. 定期维护项目
表4消耗性部件的更换期间 ( 我司建议 )
FFU风机过滤单元消耗性部件的更换期间
注:滤网更换期间会因不同使用场所的差异而有所不同。
4.2.2点检完成
点检完成后,清洁工作场所及确认风机过滤器单元在正常运转状况;保留点检报告,当部件更换或机体更新时作为参考。